陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室有三个主要研究方向：①薄膜与等离子体技术；②光学制造及检测技术；③微光电器件制造及应用技术。主要研究内容包括光学薄膜制造技术；脉冲真空等离子体镀膜技术与设备；离子束溅射技术与设备；非球面加工、检测技术与设备；薄膜参数精密测试技术与设备；常温热成像材料与器件的制造、检测与应用技术；多功能传感器集成制造技术；MEMS与MOEMS工艺技术及其应用等。
    根据“开放、流动、联合、竞争”的运行机制，实验室重视多学科、多专业的相互渗透，鼓励相关学科的相互结合和集成。实验室热忱欢迎和邀请各有关领域的国内外科研人员来实验室进行合作研究。
1.开放基金申请对象、申请方法、基金的使用和管理

详见附件1（陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室开放研究基金实施细则）。
2.开放基金说明
    1)开放基金主要资助与本实验室研究方向相关的课题，2009-2010年度资助具体方向和经费额度参见本指南第4条。
    2)本年度每项目课题研究期限不超过二年，执行期间为2010年1月-2011年12月。
    3) 申请人应定期将研究进展通报本实验室，本实验室将根据进展情况有权终止资助进展不好的研究课题。
    4) 凡经本实验室开放基金资助的课题，其研究成果由本实验室及研究者所在单位共享。由开放基金资助课题发表的论文，应注明“本课题由陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室开放基金资助”(The project was supported by Open Fund of Shaanxi Province Key Laboratory of Thin Films Technology and Optical Test，Xi’an Technological University)。

 3.开放基金申请程序
    1)申请人根据实验室开放基金的主要资助方向(本指南第4条)填写“陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室开放基金课题申请书” （见附件2）或者“大型仪器设备开放申请表” （见附件3）或者“访问学者申请表”（见附件4）一式三份。经所在单位主管领导同意后，向本实验室提出申请。本年度开放基金申请截止日期为2009年10月30日，逾期不予受理。
    2)实验室组织有关专家对提交的申请书进行评审，由实验室学术委员会确定资助项目和金额，2009年12月30日前书面通知获得资助的申请人。
    3)申请书可从网上直接下载(见附件)，也可打电话、发电子邮件或写信索取。
4.2009-2010年度开放基金资助范围

本年度的项目计划分为三类：实验室研究方向相关的应用基础研究项目、实验室大型设备开放项目、访问学者项目。

①应用基础研究项目：

本类研究项目资助经费额度视研究内容确定，原则上不超过1万元/项。

1）等离子体、离子束技术的应用研究方向

• 等离子体、离子束测试技术研究；

• 等离子体、离子束技术在光学加工中的应用；

• 等离子体、离子束技术在光学薄膜制造过程中的应用研究；

• 用于离子注入的高能量离子源技术研究；

2）类金刚石薄膜制造及应用技术研究方向

• DLC薄膜在金属材料表面改性方面的应用；

• DLC薄膜微观结构分析研究；

• 探索 DLC薄膜光学常数分布变化规律。

3）高精密光学零件加工及检测技术研究方向

• 微光学元件制造及检测技术；

• 磁流变抛光液的研制、分离与回收技术研究；

• 光学元件损耗机理研究；

• 光学元件检测方法理论研究。

和以上方向相关课题也可申报。

②实验室大型设备开放项目：

实验室资助大型设备开放项目的单项经费不超过3千元，开放设备可参见实验室网页相关介绍。

1）高精度光学薄膜检测

• 变角度多光谱椭圆偏振仪测试；

• 付立叶变换红外光谱测试；

• 紫外可见分光光度计测试。

2）精密光学元件与系统检测

• 光学元件面形检测（干涉仪，接触式轮廓仪）；

• 光学元件表面粗糙度检测；

• 光学传递函数测试。

3）光学元件制造

• 光学薄膜物理气相沉积设备；

• 光学元件制造设备（非球面铣磨，精磨，抛光）

4）薄膜制造

• 光学薄膜制造；

• DLC薄膜制造；

• 磁控溅射技术制备薄膜；

• 电弧技术（磁过滤电弧、脉冲电弧）制备金属薄膜；

③访问学者项目

实验室接受国内外访问学者。

本年度接受人数：1人；

总经费数：不超过4万元。

5.联系方式：

陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室，欧宝手机登录入口校内教5楼办公室

邮寄地址：西安市金花北路4号45信箱

邮编：710032

联系电话：029-83208210（兼传真）

E_mail: hanglingxia@xatu.edu.cn ; caichanglong@xatu.edu.cn

 

 

附件1：陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室开放研究基金实施细则

附件2：陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室开放基金课题申请书

附件3：大型仪器设备开放申请表

附件4：访问学者申请表