项目

技术规格

名称

紫外臭氧清洗系统

清洗原理

通过紫外线（185nm和254nm）和臭氧清洗基材表面，能够简单，经济，快速获得超洁净表面。能去除大多数无机基材（比如石英，硅片，金，镍，铝，砷化镓，氧化铝等）上的有机污染物。特别是当基材和薄膜蒸镀需要很好的粘接时，紫外清洗非常理想。在传统清洗后，再用紫外臭氧清洗几分钟就可获得超洁净的表面，且无任何损伤。

定时器

15、30、60、120分钟

电压

220VAC

灯管

8"X8"石英格栅灯管，带反射罩低压汞灯，有效清洗面积8"X8"

样品高度

可调节样品台和灯管的距离，最大距离4”

样品放置

清洗腔上盖向上打开，露出样品台，可以自由放置

安全

当清洗腔上盖打开时，内部安全锁自动关闭灯管

气体接口

两个气体接口

保修

质保一年（不含灯管）

交货时限

签订合同一周内交货